Очиститель газа сверхвысокой чистоты/система очистки/генератор

Области применения: электронные полупроводники, большие интегральные схемы, МАМС, монокристаллический кремний, поликристаллический кремний и эпитаксия кремния, светодиоды, TFT, нитрид галлия, карбид кремния, научные исследования и разработки, экспериментальный анализ и т. д.

Email

Характеристики

● Две башни попеременной адсорбционной регенерации, автоматическая непрерывная работа.
● Фитинги из полированной нержавеющей стали класса ЭП 316L.
● Степень удаления до 99,9999999% с фильтром 0,003 мкм.
● ПЛК Сименс можно подключить к системе ДКС.
● Функция охранной сигнализации идеальна.
● Доступен удаленный облачный сервис.
● Производство и сборка в сверхчистой среде.
● Производительность по газу 10-20000нм3/ч.

Параметры таблицы

Серийные модели

Для газа

Индекс сырого газа

Индекс продуктового газа

Н2

ЧАС2

ТО2

Он

ТО2

ЧАС2ТО

СО2

СО

Ч4

ЧАС2

Н2

Зернистость

9VV

●

5Н

≤0,1 частей на миллиард

—

≤0,1 частей на миллиард

—

0,003 мм

9ОВВ

●

—

●

5Н

≤0,1 частей на миллиард

—

0,003 мм

9VVX

—

●

5Н

≤0,1 частей на миллиард

0,003 мм

—

●

—

≤0,1 частей на миллиард

—

≤0,1 частей на миллиард

0,003 мм

—

●

5Н

≤0,1 частей на миллиард

0,003 мм

—

●

—

≤0,1 частей на миллиард

—

≤0,1 частей на миллиард

0,003 мм

Примечание: Общие характеристики потока:1-20000Нм3/час;Обычно используемое давление：1-20 МПа

Продукт тегов:

Получить последнюю цену? Мы ответим как можно скорее (в течение 12 часов)