Система очистки азота высокой чистоты для полупроводниковой промышленности
Устройство очистки азота с добавлением и раскислением углерода дополнительно перерабатывает 99,9% азота, извлеченного из механизма получения азота, заставляя 0,1% кислорода в азоте вступать в химическую реакцию с раскислителем углерода с образованием диоксида углерода, а также дополнительно удаляет диоксид углерода и водяной пар из азота, очищая азот до более чем 99,999%, улучшая качество получаемого газа и адаптируясь к отраслям с особыми требованиями к чистоте и качеству газа.
Область применения
Подходит для пользователей азота высокой чистоты, особенно для магнитных материалов, электронной промышленности и других процессов, предъявляющих строгие требования к кислороду и водороду.
Технические параметры
| Модель | (Нм³/ч) | Ду(мм) Вход/Выход Диаметр | (кг) Вес углерода раскислитель | Охлаждение вода (т/ч) | Приложенная мощность(кВт) | Зона оборудования размер(мм) | (HBTDC) Масса 13 X молекулярная сито(кг) | |||
| ЛГБТ | HBTDC | ЛГБТ | HBTDC | ЛГБТ | HBTDC | |||||
| ЛГБТ-130 | HBTDC-130 | ≤30 | Ду25 | 130 | 0,2 | 9 | 12 | 2000*1350*2300 | 2500*1350*2300 | 75 |
| ЛГБТ-200 | HBTDC-200 | ≤60 | Ду40 | 200 | 0,5 | 18 | 22.5 | 2200*1550*2600 | 2700*1550*2600 | 100 |
| ЛГБТ-240 | HBTDC-240 | ≤100 | Ду40 | 240 | 0,8 | 24 | 30 | 2350*1850*2850 | 2850*1850*2850 | 160 |
| ХБТ-380 | HBTDC-380 | ≤150 | Ду50 | 380 | 1.1 | 27 | 36 | 2650*1700*3350 | 3150*1700*3350 | 230 |
| ХБТ-430 | HBTDC-430 | ≤200 | Ду50 | 430 | 1.5 | 39 | 48 | 3050*1700*3000 | 3550*1700*3000 | 230 |
| ХБТ-670 | HBTDC-670 | ≤250 | Ду50 | 670 | 1.9 | 45 | 57 | 3250*1800*3100 | 3750*1800*3100 | 260 |
| ХБТ-720 | HBTDC-720 | ≤300 | Ду65 | 720 | 2.2 | 45 | 57 | 3250*2100*3200 | 3750*2100*3200 | 260 |
| ХБТ-1200 | HBTDC-1200 | ≤400 | Ду65 | 1200 | 3 | 54 | 66 | 3400*2100*3700 | 3900*2100*3700 | 260 |
| ЛГБТ-1440 | HBTDC-1440 | ≤600 | Ду65 | 1440 | 4.4 | 75 | 90 | 3800*2950*3800 | 4300*2950*3800 | 380 |
| ХБТ-2400 | HBTDC-2400 | ≤1000 | Ду65 | 2400 | 7.4 | 90 | 105 | 5350*2950*4000 | 5850*2950*4000 | 380 |
| Примечание: Приведенные выше данные основаны на расчетном давлении подаваемого воздуха 0,8 МПа (изб.), температуре окружающей среды 20 ℃, высоте над уровнем моря 0 м и относительной влажности 80%. Примечание 2: Мощность рассчитывается на основе расхода. Мощность в таблице определена в соответствии со расходом при чистоте 39%. | ||||||||||
